カスケード制御(タイトボックス内温度制御)

特長

  1. 昇温の遅れの改善
    ・従来の単一制御に比べ、より処理物温度に近い温度で制御が可能です。

    ・制御温度と処理物温度のオフセットが緩和されます。

適用

  • 島津真空炉

タイトボックス内温度制御

  1. タイトボックス内温度をMaster調節計へフィードバック
  2. Master調節計が設定温度との温度差を補正
  3. Master→Slaveへ補正信号伝達され、補正信号がSlave設定値となる
  4. タイトボックス外温度(ヒーターゾーン)をSlave調整計へフィードバック
  5. タイトボックス外温度とSlave設定値との補正信号が各サイリスタへ出力指示