特集論文
新型リークディテクタ MSE-2600シリーズの紹介
島津評論 83〔1・2〕 97～102 (2026)
要旨
高速・高感度・高精度な漏れ試験手法として，ヘリウムリークディテクタは広く産業界に普及している。ヘリウムはトレーサガスとして用いられるが，真空中の残留ガスや大気中に含まれる量がきわめて少ないため，バックグラウンドを低く抑えることができ，高い検出性能が得られる。しかしながら，ヘリウムは天然ガスの副産物であり生産国が限られることから，近年では世界的な需要増加や国際情勢の影響により価格高騰および入手難が問題となっている。このため，トレーサガスを水素に置き換えた漏れ試験への関心が高まり，ニーズが増加している。当社では，従来機であるMSE-2400シリーズにおいて水素ガスによる安定測定を可能とする改良を進めてきたが，今回開発したMSE-2600シリーズでは，さらに水素リークテストにおける課題であるバックグラウンドの低減機能を強化した。また，生産性向上を目的とした測定時間の短縮，および操作性・視認性の向上を図った。本稿では，これらの技術的改良内容とMSE-2600シリーズの特長について紹介する。
島津産機システムズ
＊島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。