特集論文
材料中微小異物の検出・評価技術
― CMP スラリーおよびリサイクルPET の評価事例 ―
― CMP スラリーおよびリサイクルPET の評価事例 ―
島津評論 83〔1・2〕 49～58 (2026)
要旨
電子部品，光学部品，医薬品，リサイクルプラスチックなどの分野で，材料中に含まれる微小異物の管理が重要性を増している。異物のサイズ，個数，形状，組成が不明な場合，対象物や評価目的に応じて複数の分析技術を適切に選択し，組み合わせて用いる必要がある。本稿では，微小異物の検出・評価に用いられる分析技術の概要を整理し，特に動的画像解析法（DIA）およびフィールドフローフラクショネーション法（FFF）の原理と特長を述べる。さらに，研磨用コロイダルシリカ（CMP スラリー）およびリサイクルPET ペレットについて，微小異物の粒子径分布，個数濃度，形状，組成をDIA，FFF，SPM，赤外顕微鏡，走査型電子顕微鏡・エネルギー分散型X線分析（SEM-EDS）を用いて多角的に評価した事例を紹介する。
1分析計測事業部Solutions COE GX ソリューションユニット
2分析計測事業部X 線/ 表面ビジネスユニット
3分析計測事業部ライフサイエンス事業統括部 LC ビジネスユニット
＊島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。