島津評論 Vol.78[1・2](2021)
特集 産業機器

特集論文

純水向けオンラインTOC 計の開発

片岡 達哉1矢幡 雅人1光川 真由1山内 雄貴2並河 信寛1増田 裕一1

島津評論 78〔1・2〕 125~130 (2021.9)

要旨

製薬の品質管理の徹底,半導体工程内での洗浄プロセスの高度化に伴い,純水のμg/L スケールでのTOC(Total Organic Carbon, TOC)測定が求められている。特に,近年では,サンプリング時の汚染リスクが小さく,純水精製の各工程における常時監視に適したオンラインTOC 計に注目が集まっている。
島津製作所製eTOC は世界最小・最軽量の純水用オンラインTOC 計である。水銀フリーのエキシマランプを酸化光源とし,専用校正器と調製済み標準液によりユーザビリティに配慮した維持管理性を実現した。さらに,ユーザ認証や操作履歴の記録による高度なセキュリティも実現している。
本稿では,製薬向け純水精製プラントでの数十μg/L TOC 測定結果,超純水精製プラントでの1 μg/L TOC測定結果,ならびに,米国薬局方USP〈643〉システム適合性試験結果を報告する。


1分析計測事業部環境ビジネスユニット
2分析計測事業部品質保証部

*島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。