特集論文
He 供給問題に対応した高感度なリークテストシステムの開発
島津評論 78〔1・2〕 67～71 (2021.9)
要旨
高感度，高精度な漏れ試験の一つとして，He リークディテクタが広く産業界に普及している。He リークディテクタはHe ガスをトレーサガスとして用い，試験体から漏れだしたHe を分析管に導いて検出する装置である。He ガスは大気中に含まれる含有量が5.2 ppm ときわめて少なく低バックグラウンドであること，分子直径が小さく微小な孔を通り抜け漏れを検知しやすいこと，さらに毒性や引火性がなく安全であることなどリークテストに使用するトレーサガスとしては最適であり，He ガスの需要は年々上昇している。しかし，He ガスは産出国の90％以上を米国，カタール，アルジェリアが占めており，一部の天然ガス田でしか精製できない希少な資源であるため，供給問題が課題となってきている。He リークディテクタのメーカーである島津産機システムズでは，従来He リークテストシステムも提供しているが，新たに検査に使用したガスを再利用するHe 供給回収システムを開発した。さらにはトレーサガスをH2に置き換えてのリークテストが行えるようユーザーサポートを進めており，今回はこれらの製品の紹介を行う。
1島津産機システムズ株式会社
＊島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。