特集論文
高速スパッタリング成膜装置を用いたアプリケーションの開発
島津評論 73〔3・4〕 123～128 (2017.3)
要旨
高速スパッタリング成膜法では，従来のスパッタリング成膜装置と比較して，より短時間で反射率が良好，かつ，立体形状への回り込みも良好な金属薄膜成膜を実現することができる。この手法で成膜したアルミ膜は，樹脂成形時間から形成するまでの時間が短いほど反射率が高く，密着性が良くなり，樹脂成形機との連動において有用であることを見いだした。また，車載用ヘッドアップディスプレイ（HUD）用途として，増反射膜の検討を行い，550nmの波長において，95％の高い反射率を得ることができた。
1産業機械事業部 事業開発部
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