特集論文
ドライポンプ内蔵ヘリウムリークディテクタの開発
島津評論 73〔3・4〕 113～116 (2017.3)
要旨
ヘリウムリークディテクタに搭載される真空ポンプには従来大きく二種類のものがあるが，油回転真空ポンプの場合は排気口からオイルミストが排出され，スクロール型のドライ真空ポンプの場合はポンプ内部の摺動部の摩耗によるダストが発生するため，クリーンルームでの使用には問題があった。また，クリーンルームでは設備のフットプリント（設置面積）をいかに小さくできるかも重要な課題である。そこで排気口からのダストの排出のないドライポンプを内蔵し，しかも従来の可搬型機種と同一フットプリントとして開発・製品化したMSE-2201S形について紹介する。
1島津エミット株式会社
＊島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。