特集論文
ハイブリッド軸受型ターボ分子ポンプTMP-B300形の開発
島津評論 73〔3・4〕 107～111 (2017.3)
要旨
分析・計測装置市場，一般真空産業市場，大学・研究所市場に用いられるターボ分子ポンプ（以下TMP）は，小型かつ安価であることが求められる。TMPには磁気浮上型TMPとボールベアリング型TMPがあり，ボールベアリング型TMPには，さらにボールベアリングと永久磁石による磁気軸受を組み合わせたハイブリッド軸受型がある。これは小型化と低価格化が可能で，主市場である分析・計測装置市場の要求に合う。本稿では，ハイブリッド軸受型TMPとして高い圧縮比を有し，低発熱を実現したTMP-B300形について紹介する。
1産業機械事業部 TMPビジネスユニット
＊島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。