島津評論 Vol.73[3・4](2016)
特集 産業機器

特集論文

半導体製造装置,FPD製造装置向けターボ分子ポンプ

小亀 正人1

島津評論 73〔3・4〕 101~105 (2017.3)

要旨

半導体製造装置,FPD製造装置に搭載するターボ分子ポンプには,更なる排気速度向上,生成物付着防止,装置スペース低減のための小型化が要求されている。本稿では高温制御機能付き電源一体化TMP-X3405形,TMP-X4304形,また5000L/sクラスの大排気速度を実現したTMP-5305形について紹介する。


1産業機械事業部 TMPビジネスユニット

*島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。