特集論文
マイクロフォーカスX線検査装置Xslicer SMX-6000用 CT機能の開発
島津評論 72〔3・4〕 173～178 (2016.3)
要旨
近年の電子機器の小型化・軽量化に伴い，電子回路基板の微細化・積層化が進んでいる。このような電子回路基板のX線透視観察をする場合，従来の二次元透視観察では部品の重なりで十分な観察ができないことがあり，三次元観察可能なCT撮影の重要性が高まっている。ステージ駆動誤差を補正して再構成演算を行うジオメトリ補正手法を開発し，マイクロフォーカスX線検査装置Xslicer SMX-6000で二次元透視観察からシームレスにCT撮影を行う機能を実現した。
1基盤技術研究所 データ処理ユニット
2分析計測事業部 NDIビジネスユニット
3分析計測事業部 技術部
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