島津評論 Vol.71[1・2](2014)
特集 センサ・デバイス

特集論文

熱線式気体流量センサ

藤井 淳1古山 康彦1

島津評論 71〔1・2〕 61~67 (2014.9)

要旨

著者らは,これまで熱線式気体流量センサを開発してきた。本センサはセンサの発熱抵抗体とガス流の間で行われる熱交換を利用してガス流量を検知するセンサであり,ガス中の赤外線吸収物質を分析する赤外線式ガス分析計用途として使用されている。本稿では熱線式気体流量センサの基本構成と原理,作製方法,基本特性について説明し,本センサを利用した製品例として,煙道排ガス多成分ガス濃度測定装置NSA-3080Aおよび,燃焼触媒酸化方式TOC計TOC-L シリーズ,オンラインTOC計TOC-4200を紹介する。


1デバイス部センサ・デバイスビジネスユニット

※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。