特集論文
高耐性レーザミラー&レーザウィンドウの開発
島津評論 71〔1・2〕 51～60 (2014.9)
要旨
高出力レーザ光への耐性が高い高耐性レーザミラー&レーザウィンドウを開発した。レーザミラーおよびレーザウィンドウはレーザシステムの構築に不可欠な光学素子であり，システムの高出力化に伴い，より高いレーザ耐性を持つ製品が必要とされている。本稿では，開発した高耐性レーザミラー&レーザウィンドウの原理，高レーザ耐性化に関する要素技術，製造プロセスについて述べるとともに，その性能について紹介する。
1デバイス部光学ビジネスユニット
2基盤技術研究所
※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。