特集論文
レーザ用回折格子「LAシリーズ」
島津評論 71〔1・2〕 43～49 (2014.9)
要旨
レーザの短パルス化による高出力加工や微細加工の需要が高まる加工機分野向けに，高出力レーザシステムに適した高効率で損傷しきい値の高い回折格子を開発した。搭載される回折格子の損傷しきい値および回折効率を向上させることはレーザシステムの性能を向上させることにつながる。これらレーザ用回折格子の設計・製作工程では高い回折効率が得られるように溝形状の最適化を行いシミュレーションとの高い一致が確認できた。また，開発段階のレーザ損傷しきい値評価では，回折格子の表面層である金属膜を厚くすることにより耐性が向上することを確認し，回折格子のレーザ耐性を把握した。本稿では，製品化したレーザ用回折格子｢LAシリーズ｣の設計例および性能評価結果について述べる。
1デバイス部光学ビジネスユニット
2株式会社島津デバイス製造
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