特集論文
波長可変半導体レーザ吸収分光法を用いた水分モニタの開発
島津評論 71〔1・2〕 35～42 (2014.9)
要旨
波長可変半導体レーザ吸収分光法を計測原理とした水分モニタ（TLIM-1000-H20形）を開発した。この水分モニタは，対象気体の圧力や温度が動的に変化した状態においても気中水分をインラインで常時かつ高速にモニタリングすることを可能にする。本稿ではまず計測法の原理とその特長について述べる。次に，半導体・フラットパネルディスプレイ製造分野への適用を想定して開発した水分モニタの構成を紹介し，この水分モニタが生産性に影響を及ぼし得る気中水分をいかにして計測するかを述べる。
1デバイス部センサ・デバイスビジネスユニット
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