特集論文
電源一体型ターボ分子ポンプの開発
島津評論 67〔3・4〕 125～131 (2011.3)
要旨
建材用ガラス，太陽電池，液晶ディスプレイなどの製造に用いられる大型インラインスパッタ装置に搭載されるターボ分子ポンプ（以下 TMP）では，装置小型化のために電源一体型TMPが要求されている。特に装置の主市場である欧州および中国においては，装置に搭載されるTMPは電源一体型が採用されており，この分野で主流となった。本稿では，電源一体型TMPとして開発・製品化したTMP-V2304シリーズ，TMP-V3304シリーズについて紹介する。
1半導体機器事業部 TMPビジネスユニット
※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。