島津評論 Vol.67[1・2](2010)
特集 センサ・デバイス

特集論文

産業計測分野向け組込用分光器

小林 智光1北脇 正章1田村 敦子1岩井 信之1

島津評論 67〔1・2〕 41~51 (2010.9)

要旨

産業計測分野では光学製品の検査や,製造プロセスの工程管理を行うために分光器が広く利用されている。本稿では,高いスループットが得られるモノクロメータである小形分光器SPG-120シリーズおよび12波長の出力強度を同時に得ることができるポリクロメータである分光センサOSS-0048を紹介し,それらの特長がアプリケーションにどのように機能するかについて説明し,その有効性についても述べる。


1デバイス部 光学ビジネスユニット

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