島津評論 Vol.67[1・2](2010)
特集 センサ・デバイス

特集論文

ポルカドットビームスプリッタの開発

古川 泰之1

島津評論 67〔1・2〕 31~39 (2010.9)

要旨

透過基板上に微小ドット反射膜を配列したポルカドットビームスプリッタを開発した。ポルカドットビームスプリッタは,広い波長範囲にわたって,波長依存性,入射角度依存性,および偏光特性の点で優れている。これらの利点を有するポルカドットビームスプリッタの原理,および開発した設計方法,製作方法について述べるとともに,その光学特性および使用例について紹介する。


1デバイス部 光学ビジネスユニット

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