特集論文
トロイダル回折格子
島津評論 67〔1・2〕 23～30 (2010.9)
要旨
著者らは収差補正型トロイダル回折格子を開発した。トロイダル回折格子は凹面回折格子の一種であり，基板表面の縦軸と横軸で異なる曲率半径を持つ。トロイダル回折格子は従来の収差補正型球面回折格子に比べ非点収差補正能力に優れている。また，これまで補正が難しかった短波長を使用する場合や偏角が大きい場合に生じていた非点収差も低減できるようになる。本稿では，開発したトロイダル回折格子の設計例および製品仕様について述べる。
1デバイス部 光学ビジネスユニット
※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。