特集論文
LD 直接波長変換型レーザの開発とその応用
島津評論 67〔1・2〕 3～12 (2010.9)
要旨
光通信用赤外半導体レーザと導波路型波長変換素子を用いてLD（Laser Diode）直接波長変換型レーザ「LUMICUBE」を開発した。「LUMICUBE」は，アルゴンイオンレーザの持つ480 nm から530 nm の波長帯域をカバーする機器組み込み用のLD 直接波長変換型レーザである。VHG（Volume Holographic Grating）素子による基本波レーザ光の波長ロック機構を実現し，±1％未満のSHG（Second Harmonic Generation）光出力の安定性を達成した。独自の制御方法によるSHG 光出力可変APC（Auto Power Control）機能を有し，ノイズレベルも1％rms 未満を達成し，偏光比は100：1以上と分析機器用途の光源としての性能を持つ。気密封止パッケージやレーザ溶接を用いることにより，長期信頼性を保持する構造とした。また，溶接歪みによるカップリング効率の低下を軽減する手法により，ピーク調整値と同程度のSHG 光出力を維持した。
1デバイス部センサ・デバイスビジネスユニット
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