特集論文
画像処理による液晶パネルの欠陥検査
島津評論 66〔1・2〕 87～91 (2009.9)
要旨
近年の液晶パネル大型化に伴い，TFT アレイを二次電子画像として検査するPixelScope もより高精度で高速な検査に対応する必要があった。特に検査画像を処理して欠陥を検出する画像処理アルゴリズムの改良が求められていた。そこで位相チャンネル分離法による欠陥検出アルゴリズムを新たに開発し，従来よりも高精度で高速な欠陥検出処理を可能とした。
1ソフトウェア開発センター
※所属名は論文作成時のものです。
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