島津評論 Vol.64[1・2](2007)
特集 センサ・デバイスと機能素子

特集論文

非球面光学素子トロイダルミラー

加藤茂樹1

島津評論 64〔1・2〕 39~46 (2007.9)

要旨

凹面トロイダルミラー(以下トロイダルミラー)は,点光源からの入射角度をもった光を,非点収差なく集光することを可能とする反射光学素子である。そのため凹面球面ミラー(以下球面ミラー)と比較して集光特性に優れており,高効率な集光が可能である。著者らは,非球面形状であるトロイダル面を,光学研磨法により実現する新規手法を開発することで,高平滑面,高面精度のトロイダルミラーの製造を達成した。本稿では,トロイダルミラーの特徴について述べるとともに,今回新たに開発したトロイダルミラーの製造法,評価について述べる。


1民生品部
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