島津評論 Vol.64[1・2](2007)
特集 センサ・デバイスと機能素子

特集論文

ラミナー型回折格子の回折効率

笹井浩行1

島津評論 64〔1・2〕 33~38 (2007.9)

要旨

軟X線領域用分光器に使用されるラミナー型回折格子の絶対回折効率に関して検討を行った。溝本数2400本/mm と3600本/mm のラミナー型ホログラフィック回折格子を製作し,立命館大学SR センターにおいて波長0.6~6nm での絶対回折効率を実測した。また,これらの回折格子に関して,各種回折効率計算ソフトによりシミュレーションを行い,実測値との比較を行った。本稿ではこれらの測定結果と計算結果について報告する。


1民生品部
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