特集論文
回折効率解析プログラムの開発と最適選択則の検討
島津評論 62〔3・4〕 193～199 (2006.3)
要旨
回折効率に関する解析手法は様々なものが提案されてきたが，どの解析手法も計算精度を上げるためには，より細かな要素を設定したり，より高いフーリエ級数成分まで計算したりすることを避けることができない。一般的にそれらは巨大な行列問題に帰されることとなり，演算装置の能力（CPU 速度，メモリ容量）により何がしかの制約を受けざるを得ないというのが現状である。本稿では，代表的な解析手法である厳密結合波解析（RCWA）と境界要素法（BEM）の理論を紹介する。そして，それぞれの解析手法に適した波長領域を理論的に考察し，実験や解析結果と比較することでその妥当性を明らかにする。
1設計技術センター
2日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門
※所属名は論文作成時のものです。
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