特集論文
Ultra High Resolution Scanning Electron Microscope
島津評論 62〔3・4〕 167～171 (2006.3)
要旨
低収差で特に低エネルギープローブ測定にて性能を発揮する高分解能電子顕微鏡を開発した。また，この顕微鏡は新しい技術の開発ベンチとして利用し，色収差をなくすためのモノクロメータ付き電子源の開発や無収差光学系の開発に用いる。鏡筒は低収差の単極型シュノーケル対物レンズとコンデンサーレンズによる，シンプルな2レンズ構成となっており，クロスポイントを持たない平行ビームの光学系となっている。そのため，低エネルギーにおいても空間電荷の影響を避け良好な画像を得ることができる。1keVと15keVの電子ビームにて性能評価を行い，取得画像の評価から1keV では4nm，15keVでは1nmを切る電子ビームプローブ径を実現している。
1Shimadzu Research Laboratory（Europe）Ltd.
2海外研究拠点支援センター
※所属名は論文作成時のものです。
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