島津評論 Vol.62[1・2](2005)
特集 半導体・FPD・新素材の検査/製造装置

普通論文

レーザ回折式粒度分布測定装置 SALD-2200

島岡治夫1

島津評論 62〔1・2〕 99~106 (2005.9)

要旨

様々な粒度分布測定装置が存在するが,レーザ回折式粒度分布測定装置が主流となっている。ここでは,まずその測定原理(レーザ回折・散乱法)を説明する。次に測定対象粒子(固体,液体,気体)とそれを分散している媒体(固体,液体,気体)との関係から,この手法の適用可能性を検討すると同時に,それを実現するための5つの条件を明らかにする。
最後に,具体的な適用可能性を示すために,レーザ回折式粒度分布測定装置 SALD-2200(測定部本体)と多彩なサンプリングユニットとのシステム構成を紹介する。そして多機能サンプラ SALD-MS22,回分セル SALD-BC22,高濃度サンプル測定システム SALD-HC22,噴射型乾式測定ユニット SALD-DS21の特長と測定例を紹介する。高濃度サンプル測定システムは極少量サンプルの測定に適用できるし,また,噴射型乾式測定ユニットは,液中では凝集しやすい磁性粒子の測定に利用できる。


1分析計測事業部 試験機ビジネスユニット
※所属名は論文作成時のものです。

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