島津評論 Vol.62[1・2](2005)
特集 半導体・FPD・新素材の検査/製造装置

普通論文

疲労・耐久試験用サーボ制御装置 4830形の開発

岩切省吾郎1安田善一1岩永幸満1毛利光宏1

島津評論 62〔1・2〕 87~92 (2005.9)

要旨

近年,疲労・耐久試験に対する要求が高度化してきており,より高い性能・機能を持ちつつオペレータにとって簡単に使用できる試験装置が望まれている。
4830形はこのような要望に応えるためのサーボ制御装置として開発された。
メインのユーザインタフェースとしてタッチパネルを搭載したカラー液晶パネルを採用しており,多彩なグラフィックによる対話形式で簡単に操作を行える。また試験実行中にはオシロスコープ感覚で負荷波形を表示できる波形表示機能を搭載している。
計測部には24bit分解能の A/D変換器を採用し,センサの直線性補正機能(リニアライズ)により,レンジレスで高精度の計測を実現した。
制御部には高性能の DSP(ディジタル・シグナル・プロセッサ)を搭載しており,制御パラメータのオートチューニング機能や押し当て試験機能,波形ひずみ補正機能,同期位相差制御機能などの豊富な制御機能を実現した。


1分析計測事業部 試験機ビジネスユニット
※所属名は論文作成時のものです。

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