島津評論 Vol.62[1・2](2005)
特集 半導体・FPD・新素材の検査/製造装置

特集論文

島津評論 62〔1・2〕 69～77 (2005.9)

要旨

ナノサーチ顕微鏡 SFT-3500の開発に成功した。本装置は，レーザ顕微鏡（LSM）とプローブ顕微鏡（SPM）の特長を併せ持つ，大型試料対応の超高倍率三次元測定顕微鏡である。レーザ顕微鏡で観察位置を特定し，試料を移動させずに同軸で SPM測定へと繋げることにより，サブミクロン領域からナノメートル領域にいたる観察・計測が一台で実行できる，スコープバリアフリーを実現した装置である。

¹分析計測事業部 X線・表面ビジネスユニット
²ソフトウェア開発センター
³分析計測事業部営業部
⁴オリンパス株式会社 FIS事業部開発2部
⁵オリンパスシステムズ株式会社 ソフトウェア事業部
※所属名は論文作成時のものです。

※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。