特集論文
マイクロフォーカス CT装置の技術進展と応用
島津評論 62〔1・2〕 41～50 (2005.9)
要旨
半導体実装部品や電子部品の評価における，より高度な検査，解析のニーズに応えるべく，従来の検査手法では困難であった内部構造の三次元的な検査や解析を可能にしたマイクロフォーカス X線 CT装置 SVシリーズを開発した。
SVシリーズは，三次元データ撮像のための超高速再構成エンジンを搭載し，さらに高画質な CT撮像を実現するための様々な改良を加えてきた。
1分析計測事業部 NDIビジネスユニット
2基盤技術研究所
3ソフトウェア開発センター
4分析計測事業部 NDIビジネスユニット
※所属名は論文作成時のものです。
※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。