特集論文
液晶注入装置の最新動向
島津評論 62〔1・2〕 9～13 (2005.9)
要旨
液晶ディスプレイの製造工程の一部である液晶注入において，省力化，生産性向上のため種々のシステムが用いられている。本稿では，島津製作所が取り組んでいる小パネル向け低価格コンセプトのバッチ式小型注入装置，加熱機構を有するバッチ式装置システム，島津製作所独自の多品種大量生産向けのスーパーバッチ式装置等について解説する。
1半導体機器事業部 技術部
※所属名は論文作成時のものです。
※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。