特集論文
フェライト薄膜用 ECRスパッタ装置
島津評論 62〔1・2〕 3～8 (2005.9)
要旨
地域新生コンソーシアム（平成13年度から3ヵ年）において，高周波通信デバイス用材料として注目されているNi-Znフェライト薄膜用ECRスパッタ装置を開発し，as-depoで（400）面スピネル結晶構造を示す高品位Ni-Znフェライト薄膜の低温成膜に成功した。この成果を受けて，2005年度に量産対応のSLC-1600（6インチ）型装置の開発を進め，面内膜厚分布，並びに膜厚再現性ともに±1%以下を達成し，開発を完了した。
1半導体機器事業部 技術部
※所属名は論文作成時のものです。
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