特集論文
17インチフラットパネルX線センサの低ノイズ設計
島津評論 61〔3・4〕 109～115 (2005.3)
要旨
大きな視野サイズを持つフラットパネルX線センサの開発課題として，検出器のノイズ低減がある。透視可能な S/N特性を実現するために，9インチセンサの開発実績をもとにしてモデル計算によりノイズの支配要因を解析し，読出し回路の低ノイズ化を図った。今回開発したセンサは，視野サイズ43cm×43cm，画素ピッチが150μm，X線変換膜としてはアモルファス・セレニウム（a-Se）を用いており，その膜厚は約1000μmである。透視可能な検出器としては世界最大サイズの検出器であり，9インチと同等以上の画質であることを確認した。
1基盤技術研究所
2基盤技術研究所工学博士
3基盤技術研究所工博
※所属名は論文作成時のものです。
※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。