特集論文
電子線マイクロアナライザーEPMA‐1610によるサブミクロン領域の分析
島津評論 60〔1・2〕 13～24 (2003.11)
要旨
電子線マイクロアナライザー(EPMA)は，微小部分析装置の中で最も信頼性の高い装置である。また，試料の取り扱いが最もラフでよいこと，観察と分析の双方が手軽にできること，定性，定量分析，化学結合状態の分析，線分析，マッピングなど一次元，二次元の分布が得られること，ミクロンオーダからセンチメートルオーダまで幅広い視野を持つことなどなどからも幅広い分野で活躍している。
本稿では，新しい電子銃を搭載し，微小部分析の能力をさらに強化して，より簡単，確実なサブミクロン分析を可能にした島津電子線マイクロアナライザーEPMA‐1610を利用したナノテクノロジーへの可能性について紹介する。
1(株)島津総合分析試験センター
※所属名は論文作成時のものです。
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