特集論文
GMRヘッド用DLC保護膜成膜装置とプロセス開発
島津評論 58〔1・2〕 59～66 (2001.12)
要旨
ハードディスク用GMRヘッド保護膜向け複合成膜装置(DLC-MR3)の開発について報告する。本装置は，3種類のダイヤモンド状炭素(DLC)成膜手法[ECRプラズマCVD法(ECR-CVD)，イオンビーム蒸着法(IBD)，カソーディックアーク法(FCVA)]，Arスパッタエッチによる表面クリーニングおよびSi密着層の成膜を行うことができる。
著者らは，超薄膜(3 nm以下)を実現するための成膜プロセス開発についても行ってきた。それには，超薄膜の評価技術が必要であり，島津製作所の種々の分析装置が大きな役割を果たしてきた。
本稿では，その一例として3 nm DLC膜の密着力評価について紹介する。
1産業機械事業部 技術部
2産業機械事業部 品質保証部
※所属名は論文作成時のものです。
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