特集論文
ダイナミック超微小硬度計，微小圧縮試験機の高温試験
島津評論 58〔1・2〕 45～48 (2001.12)
要旨
ダイナミック超微小硬度計や微小圧縮試験機は，極小部の強度評価や粒子単体の圧縮評価が可能であり，電気・電子分野においては，液晶のスペーサ，半田ボール，プラズマディスプレイパネルのリブ，液晶カラーフィルタ，TFT素子，ガラス基板などの評価に用いられている。
最近，製造環境や使用環境下において，これらの評価を行いたいという要求が高まってきており，その内最も要求の多いのが高温環境下における評価である。その要求に対応するため，従来より，高温機能を追加したダイナミック超微小硬度計DUHシリーズ，微小圧縮試験機MCTシリーズを開発してきた。
本稿では高温環境下においてより精度良く試験が行えるよう，装置の構造，測定の注意点について解説する。
1試験計測事業部 技術部
※所属名は論文作成時のものです。
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