島津評論 Vol.58[1・2](2001)
特集 半導体・フラットパネルディスプレイの検査・製造装置

特集論文

最近の液晶注入装置

岡本英樹1

島津評論 58〔1・2〕 41~44 (2001.12)

要旨

液晶ディスプレイの製造工程の一部である液晶注入において,省力化,生産性向上のため種々のシステムが用いられている。本稿では,島津製作所が取り組んでいる多品種少量生産向けのバッチ式装置,省力化を図ったバッチ式装置システム,大量生産向けのインライン式装置,さらに島津製作所独自のセミインライン式装置について解説した。


1産業機械事業部 技術部
※所属名は論文作成時のものです。

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