島津評論 Vol.58[1・2](2001)
特集 半導体・フラットパネルディスプレイの検査・製造装置

特集論文

マイクロフォーカスX線透視装置の開発

光原雅行1

島津評論 58〔1・2〕 27~34 (2001.12)

要旨

近年,IT産業の著しい発展とともに,パーソナルコンピュータ,PDA,携帯電話などが爆発的に普及している。また,これら情報機器は,軽少短薄化が進み,ICパッケージの多ピン化,PCBの高密度化がより進んだ。したがって,これら情報機器に搭載されているチップはBGA,CSPが常識になってきている。ところが,これらのチップはその接続が外見からは見えないため,その良否が目視では判断できない。その結果,非破壊検査装置であるマイクロフォーカス透視装置の需要が近年ますます伸びてきている。


1試験計測事業部 NDI部
※所属名は論文作成時のものです。

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