特集論文
恒温槽の温度均一化技術とその応用
島津評論 57〔1・2〕 103~108 (2000.8)
要旨
近年ユーザニーズの高度化に伴い,液晶注入装置やバーンイン装置など恒温槽を有する装置においては,その温度分布について高い性能が要求されている。島津製作所では,これらの要求に応えるため,計算機シミュレーションによる熱流体解析技術を用い,製品開発を進めている。
一般にこのような装置の恒温槽としては,送風機を用いた強制気体循環方式が採用されることが多く,ワークエリア内の温度を均一化するためには,均一な温度の気体を均一に流すことが重要なポイントとなる。本稿では,このような恒温槽に関するシミュレーションを用いた温度均一化設計技術およびその適用例について述べる。
1ソフトウェア開発センター
※所属名は論文作成時のものです。
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