特集論文
空間電荷効果を考慮した3D表面電荷法・軌道計算プログラムの開発と応用
島津評論 57〔1・2〕 67～77 (2000.8)
要旨
医療用X線管など，比較的大きな電流を取り扱う装置の動作解析を行うことができる「空間電荷を考慮した電界，軌道計算プログラム」を開発した。従来から島津製作所のプログラム Optdesign(R) にあった三次元表面電荷法プログラム，軌道計算プログラムをベースとし，これに新規に考案した空間電荷の取り扱い手法を組み入れた。同時に，陰極電流密度を自動的に決定する機能を付け加えた。
計算はいくつかのモジュールプログラムを組み合わせることによって行われる。各計算，ファイルの流れを整理し，なるべくユーザに理解しやすいものをめざした。
プログラムの開発当初から念頭に置いていた医療用X線管動作解析への適用を行い，実測データとの比較を行うことによって，シミュレーションの計算精度が十分実用に耐えるものであることを確認した。
1基盤技術研究所
2表面・半導体事業部 技術部 理博
※所属名は論文作成時のものです。
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