普通論文
卓上型エネルギー分散型蛍光X線分析装置 Rayny EDX-700/800による分析
島津評論 56〔3・4〕 181～189 (2000.2)
要旨
本稿では，エネルギー分散型蛍光X線分析装置EDX-700/800の原理，装置構成，試料前処理方法と，様々な形態の固体・粉体・液体試料の，定性定量分析例について報告する。
本装置は，試料から発生する蛍光X線を，エネルギー分散(EDX)により試料元素固有の信号として検出している。島津製作所が持つ，波長分散(WDX)での長年の経験と，高度の分析技術を生かしたデータ処理を行うことによって，本装置1台で，迅速で簡単な定性定量分析から，薄膜FP法(ファンダメンタルパラメータ法，島津評論，49(1992)に記載)を用いた複雑な薄膜定量分析までを行うことができる。
1島津総合分析試験センター
2表面・半導体事業部 技術部
※所属名は論文作成時のものです。
※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。