島津評論 Vol.56[3・4](1999)
特集 環境分析・測定II

普通論文

島津評論 56〔3・4〕 175～179 (2000.2)

要旨

ステッピングモータの極間分割駆動と圧電素子の微動およびロータリエンコーダによるフィードバック制御を用いた超高分解能角度制御システムを開発し，高分解能，高信頼性を要求されるシーケンシャル型ICP発光分析装置の回折格子の駆動機構に応用した。

¹表面・半導体事業部 技術部
²生産技術研究所
※所属名は論文作成時のものです。

※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。