普通論文
超高分解能角度制御システム(ダイレクトドライブ技術)の
シーケンシャル型ICP発光分析装置への応用
シーケンシャル型ICP発光分析装置への応用
島津評論 56〔3・4〕 175~179 (2000.2)
要旨
ステッピングモータの極間分割駆動と圧電素子の微動およびロータリエンコーダによるフィードバック制御を用いた超高分解能角度制御システムを開発し,高分解能,高信頼性を要求されるシーケンシャル型ICP発光分析装置の回折格子の駆動機構に応用した。
1表面・半導体事業部 技術部
2生産技術研究所
※所属名は論文作成時のものです。
※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。