普通論文
X線ラインセンサの開発
島津評論 55〔3・4〕 287～292 (1999.3)
要旨
X線異物検査装置に使用する0.43 mmピッチ×1024チャンネルのX線ラインセンサを開発した。センサは，1.X線検出器，2.アナログ回路基板，3.ディジタル回路基板で構成されている。X線はGd2O2SシンチレータとアモルファスSi光ラインセンサからなるX線検出器で電気信号に変換され，アナログ回路基板内で増幅されディジタル信号化された後，ディジタル回路基板にて各種補正が行われる。ディジタル回路基板にはDSP(ディジタル シグナル プロセッサ)を搭載しており，各チャンネルのオフセット補正，感度補正，その他の各種補正を逐次行っている。島津X線ラインセンサは，温度制御による高い出力安定性，短いウォームアップ時間，広いダイナミックレンジ，簡易なインタフェース，標準付属ビデオポートなどの特長を持つ。
1生産技術研究所
2基盤技術研究所
3基盤技術研究所 工博
※所属名は論文作成時のものです。
※島津評論に掲載されている情報は、論文発表当時のものです。記載されている製品は、既に取り扱っていない場合もございますので、ご了承ください。