特集論文
FTIR・ラマン分光法の半導体分野への応用
島津評論 55〔3・4〕 229～233 (1999.3)
要旨
フーリエ変換赤外分光法(FTIR)とラマン分光法は，いずれも光を利用した分析方法であり，半導体の評価技術として用いられている。半導体の評価技術としては，非接触，非破壊，非真空等の条件が望まれるが，両者はいずれの条件も満たしており，しかも測定が非常に簡便である。
本稿では，FTIRの応用例として，ハードディスク上のフッ素樹脂の定量，ラマン分光法の応用例として，シリコンウェーハの応力測定，DLC(Diamond-Like Carbon)膜の測定例，さらに異物分析について述べる。
1分析機器事業部 応用技術部
※所属名は論文作成時のものです。
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