用途事例
深紫外（DUV）レーザーの波長を見る
●エキシマレーザーや222 nm滅菌用光源の測定
●266 nm波長変換レーザーの効率不良の原因究明
モードホップ・波長挙動を捉える
●レーザーセンシング・レーザー測定の精度向上
●ディスプレイ用レーザーのスペックル解析
レーザーの光学調整や検査を短縮する
●波長可変レーザーや外部共振型レーザーの調整効率の向上
●半導体レーザ（LD）や面発光レーザー（VCSEL）の測定時間短縮
●LiDAR用LDなどの全数検査への要求に対応
特長
1. マルチモードファイバ（MMF）入射で高い波長分解能
●φ600 μm MMFや空間入射で約0.02 nm（Typ.）の分解能
●シングルモードファイバ（SMF）への光学調整から解放
2. レーザースペクトルの挙動が一目瞭然
●アレイセンサによる瞬時に分光スペクトルを測定
●モードホップや温度・電流特性を捉える連続保存機能
3. DUVからNIRまでの広い測定波長範囲
●1台で波長185～1095 nmに対応
●多波長レーザの信頼性試験を支援するインターバル保存機能
4. 高感度
●入射光強度100 μW※1を積分時間50 μs※2で測定可能※3
●パワーメータの散乱光測定による強度と波長の同時測定
※1 φ600 μmMMF使用の場合
※2 積分時間は6 μsから5 sの範囲で設定可能
※3 波長やスペクトル形状によります。