回折格子(Gratings:グレーティング)真空紫外・軟X線領域用ラミナー型回折格子

HOLOGRAPHIC LAMINAR GRATINGS FOR VACUUM ULTRAVIOLET REGION

図25 ラミナー型回折格子のAFM 写真

図25 ラミナー型回折格子のAFM 写真
溝本数: 1200本/mm
溝深さ: 15nm

当社は、ホログラフィック露光法とイオンビームエッチング法を応用し、真空紫外領域から軟X 線領域に適したラミナー型回折格子を開発しました。この回折格子は溝の断面形状が矩形状の回折格子(図24)で、合成石英などのブランクに直接刻線されています。特に斜入射でお使いになる場合にお勧めいたします。
ラミナー型回折格子をご希望の場合は、真空紫外領域用ラミナーグレーティングリクエストカードにご記入のうえ、ご相談ください。

概念図

図24 ラミナー型回折格子溝断面形状の概念図

図24 ラミナー型回折格子溝断面形状の概念図

測定例

図26 アルゴンの吸収スペクトル測定例

図26 アルゴンの吸収スペクトル測定例