ラミナー型回折格子(真空紫外・軟X線領域用)

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    3000~6000 本 /mm の溝本数が対応可能になりました。


HOLOGRAPHIC LAMINAR GRATINGS FOR VACUUM ULTRAVIOLET REGION

ラミナー型回折格子のAFM測定例

 

当社は、ホログラフィック露光法とイオンビームエッチング法を応用し、真空紫外領域から軟X 線領域に適したラミナー型回折格子を開発しました。この回折格子は溝の断面形状が矩形状の回折格子で、合成石英などのブランクに直接刻線されています。特に斜入射でお使いになる場合にお勧めいたします。
ラミナー型回折格子をご検討の場合は、ご希望の仕様をご相談ください。

最終用途事例

  • 放射光施設

形状の概念図

図24 ラミナー型回折格子溝断面形状の概念図

ラミナー型回折格子溝断面形状の概念図

測定例

図26 アルゴンの吸収スペクトル測定例

アルゴンの吸収スペクトル測定例

コーティング材質例

図26 アルゴンの吸収スペクトル測定例

コーティング材質と反射率の関係

※膜厚30nm、入射角88°、表面粗さ0の理想的な平面鏡でのシミュレーション結果です。(保証値ではありません。)

※光のエネルギーは、波長を用いて以下の式で換算されます。​
  E ≒ 1240 / λ​
 E [eV]: 光のエネルギー​
 λ [nm]: 波長

 
 例:1 [nm]は約1240 [eV]、10 [nm]は約124 [eV]に相当します。 ​