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3000～6000 本 /mm の溝本数が対応可能になりました。
HOLOGRAPHIC LAMINAR GRATINGS FOR VACUUM ULTRAVIOLET REGION
ラミナー型回折格子のAFM測定例
当社は、ホログラフィック露光法とイオンビームエッチング法を応用し、真空紫外領域から軟X 線領域に適したラミナー型回折格子を開発しました。この回折格子は溝の断面形状が矩形状の回折格子で、合成石英などのブランクに直接刻線されています。特に斜入射でお使いになる場合にお勧めいたします。
ラミナー型回折格子をご検討の場合は、ご希望の仕様をご相談ください。
最終用途事例
- 放射光施設
形状の概念図
ラミナー型回折格子溝断面形状の概念図
測定例
アルゴンの吸収スペクトル測定例
コーティング材質例
コーティング材質と反射率の関係
※膜厚30nm、入射角88°、表面粗さ0の理想的な平面鏡でのシミュレーション結果です。（保証値ではありません。）
※光のエネルギーは、波長を用いて以下の式で換算されます。
E ≒ 1240 / λ
E [eV]: 光のエネルギー
λ [nm]: 波長
例：1 [nm]は約1240 [eV]、10 [nm]は約124 [eV]に相当します。