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2026年11月9日 | プレスリリース
半導体製造装置向けターボ分子ポンプのめっき加工ラインを増設
半導体需要の拡大に対応するため、生産体制を強化
株式会社島津製作所は、本社のある三条工場（京都市中京区）において、半導体製造装置向けのターボ分子ポンプ（以下TMP）のめっき加工ラインを増設しました。生成AIの普及や半導体市場の拡大を背景としたTMPの需要増に対応するため、2026年9月にめっき加工の新ラインを稼働し始めました。2027年夏には追加増設を予定しており、サプライチェーン全体でTMPの生産体制を強化していきます。
TMPは、ポンプ内部の金属製ブレード（羽根）を毎分数万回という超高速で回転させ、気体分子を弾き飛ばすことで高真空状態を作り出す真空ポンプです。当社のTMPは、半導体製造装置をはじめ、太陽光発電パネルや建材ガラスのコーティング装置など、高真空環境を必要とする幅広い分野で使用されています。特に半導体製造では微細化・高性能化が進む中、TMPの需要が高まっています。
TMPの製造工程では、金属材料を切削して部品を成形する機械加工を行った後、主要部品の表面にめっき加工を施します。当社は、主要部品を腐食から保護するめっき加工の新ラインを三条工場で稼働し始めたほか、協力会社と連携した加工体制を構築するなど、生産工程への設備投資を進めています。今年9月のライン増設で、めっき工程の処理能力は従来比約2倍となっており、2027年夏の追加増設後には従来比約2.5倍まで高める計画です。社内外で生産体制を段階的に強化し、安定したTMPの製造とサービス提供につなげます。
島津製作所は、半導体製造装置向けを中心にTMPの生産・サービス体制を強化しています。今後も半導体市場において、真空技術と計測技術を軸としたトータルソリューションを提供し、お客様のさまざまなニーズに応えてまいります。
写真：ターボ分子ポンプ