対応製品について

  • 高品質真空環境の構築:ターボ分子ポンプ
  • 不良解析の効率化、デバイス・基板の非破壊観察:X線透視・CT
  • ターボ分子ポンプ TMPシリーズ

    ターボ分子ポンプ
    TMPシリーズ

  • マイクロフォーカス X線CTシステムinspeXio SMX-225CT FPD HR Plus

    マイクロフォーカス
    X線CTシステムinspeXio
    SMX-225CT FPD HR Plus

  • 電子線マイクロアナライザ EPMA-8050G

    電子線マイクロアナライザ
    EPMA-8050G

  • ターボ分子ポンプ TMPシリーズ

    ターボ分子ポンプ
    TMPシリーズ

  • マイクロフォーカス X線CTシステムinspeXio SMX-225CT FPD HR Plus

    マイクロフォーカス
    X線CTシステムinspeXio
    SMX-225CT FPD HR Plus

  • 電子線マイクロアナライザ EPMA-8050G

    電子線マイクロアナライザ
    EPMA-8050G

  • BGA(Ball Grid Array)X線透視画像 BGA(Ball Grid Array)X線透視画像

    BGA(Ball Grid Array)X線透視画像

  • BGA 3次元表示画像 BGA 3次元表示画像

    BGA 3次元表示画像

5G通信機器用基板の分析

銅張積層板は樹脂シートを銅箔で挟み、加熱・加圧加工により作られます。この樹脂シートの層にはLCPの絶縁層やフィラーで強化した難燃剤層などがあります。銅箔は配線の役割を担いますので複数の配線が組込まれます。電子基板の断面をマッピング分析した事例を紹介します。マッピングデータの赤色は銅箔層(Cu)を表しています。10 μm程度の厚さの銅箔が4層確認できます。緑色は炭素(C)の分布で樹脂層を表しています。またアルミニウム(Al)を含む層(青色)はフィラー強化層と考えられます。左端のピンク色で示した層は保護膜で、保護膜中の窒素(N)分布を表しています。また右端の樹脂層にはケイ素(Si)のフィラーが混入している事がわかります。これは耐熱性を向上させる目的で使用されていると考えられます。

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