真なる空と書いて「真空」。
厳密にはまったく気体がないという空間は存在しないが、極度に減圧された空間は、大気中とは異なる「法則」に支配されている。
その仕組みを解明し、自由に作り出す技術を得た人類は、真空を応用してさまざまな発明を成し遂げてきた。
その歴史と最先端の真空技術を見ていこう。

エジソンのひらめき

発明王トーマス・エジソンは、白熱電球の開発に、ことのほか情熱を傾けたといわれる。
白熱電球のアイデア自体は、すでに他の発明家によって提示されていたが、なかなか実用化されるには至らなかった。ガラス球の中で発光体（フィラメント）がすぐに燃え尽きてしまう問題があったからだ。
そんな中、1879年にエジソンは、ガラス球の内部を真空にすることを試みた。果たして、ポンプで空気を抜いたガラス球内で、炭化した竹製のフィラメントは長時間輝き続けた。
もし、真空を作る技術がなかったら、人類はいまだにランプの生活を続けていたかもしれない。

半導体は真空中で作られる

こうした真空の特性を利用した産物は、いたるところに見受けられる。例えば、魔法瓶は、壁面に真空の空間を設けることで断熱効果を生み出している。また、長期保存のために用いられる “真空パック”はもちろん、インスタント食品の製造には真空中での乾燥あるいは凍結乾燥技術が用いられている。
さらにはナノの世界を浮き彫りにする電子顕微鏡、荷電粒子を加速させる粒子加速器、次世代のエネルギーとして注目される核融合なども真空なしには成立しない。テクノロジーのあらゆる局面で、真空は必要不可欠な存在となっているのである。
なかでもその恩恵を強く受けているのは半導体業界だ。シリコンの板に薄い膜を成膜させたり、そこに細かい溝を刻んでいく工程では、不純物が一切混じってはいけない。おのずと真空が製造の場に選ばれ、チャンバーと呼ばれる作業空間をいかに素早く真空にできるかを、半導体メーカーは競うようになった。