世界最先端の半導体製造を支えるターボ分子ポンプ
台湾で実現した供給・サービス体制

生成AIやスマートフォンに使用される半導体は、電気の流れを非常に高度に制御する電子部品です。その半導体を安定して生産するために求められるものの一つが「真空」です。

半導体の製造工程では、基板の上にナノメートル単位の微細な回路を何層にも形成します。製造装置の内部は、ホコリやガス成分を取り除いた高真空環境が欠かせません。さらに、半導体製造装置の多くは、品質と生産性を維持するために24時間連続で稼働しています。このような製造装置の環境を支えるには、装置の部品やサービスに高い信頼性が求められます。 

 

台湾でのターボ分子ポンプ供給とアフターサービスを担うSTI

当社のターボ分子ポンプ（以下TMP）は、半導体製造装置内の空気やガスを排出し、高真空環境を作り出す真空ポンプです。

島津製作所ターボ分子ポンプ（TMP）紹介 

世界有数の半導体製造拠点である台湾で、このTMPの安定供給と迅速な保守サービスを通じて半導体製造会社の生産を支えているのが、島津グループの現地法人Shimadzu Taiwan Industrial Machinery Co.，Ltd（以下STI）です。 

STIは2007年に設立され、現在は社員71人のうち8割がサービス業務を担当しています。

STI台南拠点の社員

半導体生産を止めない

半導体市場では需要の変動により、生産計画が短期間で変更されることもあります。STIは、需要予測や在庫管理を強化し、必要な製品を必要なタイミングで提供できる体制を構築しています。こうした取り組みは、安定した半導体生産を支えています。

スピードと高品質なサービスを両立させる

設備トラブルが発生した際には、迅速な対応が求められます。STIは修理やオーバーホール体制を整備し、装置の早期復旧を支援しています。パーティクルと呼ばれる微細な異物は、半導体の回路形成に欠陥を引き起こす要因となるため、その発生や混入を極限まで抑える管理が求められます。こうした品質要求に応えるため、TMPの整備や検査は専用クリーンルームで行い、厳格な品質管理を徹底しています。加えて、地震の発生頻度が高い台湾の環境特性を踏まえて、振動下でもTMPを保護できる設備の提案も行い、リスクの低減と信頼性向上に貢献しています。 

顧客との信頼関係を事業の成長につなげる

STIは、製品供給から保守サービス、品質向上まで一貫した支援を提供し、製造現場の課題解決を通じてお客様との信頼関係を築いてきました。

台湾で培ったこれらのノウハウとサービス力は、島津グループのTMP事業を支える重要な資産です。
これからも世界最先端の半導体製造を支え、デジタル社会の発展に貢献していきます。 

STIのコメント

STI新竹拠点の社員