仕様
| 温度設定範囲 | −40℃～+80℃ |
|---|---|
| 温度制御精度 | ±0.2℃ |
| 試料の温度分布 | ±0.5℃以内 |
| 連続使用時間 | 8時間 / −40℃ |
| チャンバー形状 | 円筒型（φ140mm×L305mm） |
| 試料容器材料 | C1100 |
| 窓板材料 | 溶融石英 |
| 熱交換材 | カッパウール |
| 試料測温センサ | アルメル－クロメル（制御用） 銅－コンスタンタン（試料測温用） |
| 試料容器のリーク量 | 1×10-9 atm cc/sec以下 |
| 液体窒素容器 | 容量 30L |
| 温度コントローラー | 冷却制御（マスフローコントローラー・電子制御PID） 加熱制御（4～20mA電流制御PID） |
| ポンプ | ダイヤフラムポンプ（液体窒素フロー用15ℓ/min） ロータリーポンプ（断熱真空層真空排気用50ℓ/min） |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 10A |