蒸着装置の膜厚変化のモニタ

発光特性の測定

※点線で示した部分は、標準品ではありません。

概要

ハロゲンランプの白色光を蒸着装置内のモニタ基板に照射し、その反射光をSPG-120シリーズで分光し、特定波長の光強度をホトダイオードで検出し時間変化をモニタする構成です。時間変化の記録にはコントロールアンプのアナログ出力を利用して市販のデータロガーで行います。モニタ基板上に蒸着された光学薄膜の膜厚に応じた反射光強度の変化をモニタできます。

構成(SPG-120S-REVの場合)

部品番号(P/N) 名 称
691-05670-01 SPG-120S-REV フィルタチェンジャセット
691-05147-□□ スリット  ※2個必要
691-06737-□□ 次数分離フィルタ
691-06550 コントロールアンプAT-120AP
691-06477-04 チョッパユニット AT-120CH
691-06490 ホトダイオードホルダ AT-120PD
691-06181 ハロゲンランプユニット AT-100HG(可視・赤外域用)
691-06411 ハロゲンランプスタンド
088-50666-07 USB対応GP-IBコントローラ
691-06379 光学ベンチセット

他社購入品

モータコントローラ SHOT-702 シグマ光機
シリアル通信ケーブル RS232C/STR-2A シグマ光機
USB対応シリアルコントローラ BSUSRC0605BS バッファロー

※蒸着装置・光学系・集光光学系・データロガーは別途必要です。

スリットの選び方次数分離フィルタの選び方AT-120FLCの効果